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ARS闭循环OPE体育下载真空探针台

美国ARS 公司的PS-CC闭循环探针台用于样品的非破坏性检测,测试灵活,广泛应用于直流(DC),射频(RF),MEMS, 纳米电子,超导性,纳米电路的光电特性,量子点和量子线,非破坏性测试等。

 

该款探针台使用DE204、DE210或DE215系列冷头,整个测试过程中无需使用任何制冷剂(液氦/液氮)。可根据不同测试要求,选用不同型号冷头,以便样品最OPE体育下载度到达13K、<10K、7K或<4K。所有的ARS闭式循冷头均采用高制冷量的一级冷头,该设计可使系统快速降温并最大程度降低系统热负载。气动驱动GM冷头一级制冷量高,固有振动小,是该领域的理想选择。

 

该系统为科研工作者提供一个大的、洁净的样品环境。真空腔由焊接不锈钢制成,防热辐射屏由镀镍的无氧铜OFHC制成。镍镀层的低辐射率和无氧铜的高热传导使得样品空间的防热辐射屏温度更低净制冷量更大。高质的真空器件至关重要,可以使样品获得更高的真空环境,更洁净的表面,更好的电接触。

 

ARS既生产冷头又生产探针台的一站式生产确保了该产品的稳定性能,也利于系统的诊断和服务。

 

 

The above picture shows the sample space of the probe station.
The above picture shows a custom sample holder and 4 DC probes.

 

特点

备注

温度范围:7K-400K

 

10英寸不锈钢真空室

 

8英寸镀镍无氧铜防热辐射屏

 

2.25英寸镀金无氧铜样品台

可升级4英寸样品台

高纯石英观察窗

 

蓝宝石防热辐射屏冷窗

 

多至6个三维微操作探针臂

 

可选直流DC/高频RF/微波/光纤探针探针臂

 

控温系统:高精度4通道控温仪、用于测量样品温度的校准行硅二极管温度计(±12mK)、加热器

温度计安装位置:

1、冷头温度计,用于诊断

2、样品台温度计及加热器,用于控制样品台温度,实现精确控温

3、样品温度计,用于精确测量样品温度

4、冷屏温度计及加热器,用于控制加热冷屏温度,实现快速换样

三级减振系统样品台综合振动 < 1微米

样品台振动 < 100nm

7:1显微观测系统,3微米分辨率,环形光源

可升级16:1显微观察系统

规格及技术参数

 

制冷方式

闭循环制冷,无需液氦

温度范围

7K-400K

(可选更高制冷量DE215冷头冷台温度<4K,安装高温隔热台高温度可达800K)

温度稳定性

优于50mK

泵抽真空时间

机械泵约45分钟

分子泵约10分钟

降温时间

约2到2.5小时(DE204P冷头)

真空腔

不锈钢真空腔

直径10英寸

上盖安装高纯石英窗口

防热辐射屏

镀镍无氧铜防热辐射屏

直径8英寸

上盖蓝宝石冷窗

热连接至1级冷头

样品台

镀金无氧铜样品台

2.25英寸直径

样品台连接

接地(标准)

绝缘(可选)

偏压,通过同轴电缆至外部BNC接头(可选)

偏压到Guard,通过同轴或三同轴电缆连接到外部三同轴接头(可选)

探针臂位移台

手动驱动

不锈钢焊接波纹管连接

X方向(轴向)2英寸行程

Y方向(横向)1英寸行程(标准)

             2英寸行程(可选)

Z方向(垂直方向)0.5英寸行程

刻度10微米

灵敏度5微米

振动

三级减振,样品台综合振动优于1微米

温度计安装

4个温度计,2套加热器

4个温度计位置:

1个DT-670B-SD温度计安装于防热辐射屏用于防热辐射屏的快速升温

1个DT-670B-SD安装于样品台底部用于控温

1个DT-670B-SD安装于冷头位置用于诊断

1个校准型DT-670-CU-4M温度计安装在样品台顶部样品附近,用于精确测温

2套加热器位置:

1套50W筒状加热器安装在样品台底部用于控温

1套100W加热器安装在防热辐射屏上用于系统快速升温

显微观测系统

标准7:1显微镜

4.2毫米-0.61毫米视野

工作距离:89毫米

数值孔径:0.024-0.08

光源:环形光源

分辨率:3微米

安装手动三维位移台

高分辨率24英寸显示器

可选16:1显微镜

12.8毫米-0.8毫米视野

工作距离:89毫米

数值孔径:0.0090-0.15

光源:环形光源

分辨率:2微米

安装手动三维位移台

高分辨率24英寸显示器

探针臂

 

直流/低频探针臂

微型同轴电缆

接头:SMA或BNC

频率:0-100兆赫兹

阻抗:50欧姆

包含接地屏蔽接头

三同轴电缆

接头:三同轴接头

频率:0-100兆赫兹

阻抗:50欧姆

卡尔文探针

电缆:同轴或三同轴

接头:SMA/BNC/三同轴

频率:0-100兆赫兹

针尖材料:

钨针(标准)

镀金钨针(可选)

铍铜镀金(可选)

针尖半径:

0.5微米(其他半径可选)

GSG高频探针臂

0-40GHz

接头:K型接头

电缆:半刚性同轴电缆

针尖:钨针或铍铜针尖

0-50GHz

接头:2.4

电缆:半刚性同轴电缆

针尖:钨针或铍铜针尖

0-67GHz

接头:1.85

电缆:半刚性同轴电缆

针尖:钨针或铍铜针尖

光纤探针臂

紫外/可见 或 可见/红外

接头:SMA905公头

光纤样品端:抛光裸头

尺寸:100微米-400微米

单模或多模

 

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