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ARS超稳超低振动型OPE体育下载探针台

 

ARS纳米级超稳超低振动型OPE体育下载探针台的设计具有极大的灵活性,可用于无损器件测试。探针配置和系统设计可以根据您的具体实验要求进行定制。 系统标准温度配置为OPE体育下载5K,可选450K和800K高温度选项。

 

探针台采用ARS闭式循环制冷机,ARS制冷机为气动驱动GM制冷机,它具有一级冷台制冷能力高和固有的低振动相结合的特点,使其成为纳米科学和敏感器件测量的理想选择。 ARS探针台都采用高质量的真空元件,高抛光的不锈钢真空腔室和镀镍的高纯铜辐射屏蔽提供了干净的样品环境。低发射率和高导热率的镀镍和铜防热辐射屏使样品台具有更大的冷却能力。

 

ARS不仅是探针台的生产商,也是制冷机的生产商,这确保了集成制造的一致性,并能对系统提供整体的售后保障。

 

应用案例:

►电磁特性

►微波特性

►低频,高频特性

►MEMS

►纳米电子学

►超导特性

►纳米器件光电性能

►量子点及纳米线

►单电子

►低电流物理特性

 

特点

备注

温度范围:< 6K-350K

 

振动优于50纳米

 

10英寸不锈钢真空室

 

7英寸镀镍无氧铜防热辐射屏

 

2.25英寸镀金无氧铜样品台

 

高纯石英观察窗

 

蓝宝石防热辐射屏冷窗

 

多至6个三维微操作探针臂

 

可选直流DC/高频RF/微波/光纤探针探针臂

 

控温系统:高精度4通道控温仪、用于测量样品温度的校准行硅二极管温度计(±12mK)、加热器

温度计安装位置:

1、冷头温度计,用于诊断

2、样品台温度计及加热器,用于控制样品台温度,实现精确控温

3、样品温度计,用于精确测量样品温度

4、冷屏温度计及加热器,用于控制加热冷屏温度,实现快速换样

7:1显微观测系统,3微米分辨率,环形光源

可升级16:1显微观察系统

规格及技术参数

 

制冷方式

闭循环制冷,无需液氦

温度范围

6K-350K

(可选更高制冷量DE215冷头冷台温度 < 4K,安装高温隔热台高温度可达800K)

温度稳定性

优于50mK

泵抽真空时间

机械泵约45分钟

分子泵约10分钟

降温时间

约4小时至10K(DE2010S冷头)

真空腔

不锈钢真空腔

直径10英寸

上盖安装高纯石英窗口

防热辐射屏

镀镍无氧铜防热辐射屏

直径7英寸

上盖蓝宝石冷窗

热连接至1级冷头

样品台

镀金无氧铜样品台

2.25英寸直径

样品台连接

接地(标准)

绝缘(可选)

偏压,通过同轴电缆至外部BNC接头(可选)

偏压到Guard,通过同轴或三同轴电缆连接到外部三同轴接头(可选)

探针臂位移台

手动驱动

不锈钢焊接波纹管连接

X方向(轴向)2英寸行程

Y方向(横向)1英寸行程(标准)

             2英寸行程(可选)

Z方向(垂直方向)0.5英寸行程

刻度10微米

灵敏度5微米

振动

氦气减震,< 30-50纳米(峰对峰)

温度计安装

4个温度计,2套加热器

4个温度计位置:

1个DT-670B-SD温度计安装于防热辐射屏用于防热辐射屏的快速升温

1个DT-670B-SD安装于样品台底部用于控温

1个DT-670B-SD安装于冷头位置用于诊断

1个校准型DT-670-CU-4M温度计安装在样品台顶部样品附近,用于精确测温

2套加热器位置:

1套50W筒状加热器安装在样品台底部用于控温

1套100W加热器安装在防热辐射屏上用于系统快速升温

显微观测系统

标准7:1显微镜

4.2毫米-0.61毫米视野

工作距离:89毫米

数值孔径:0.024-0.08

光源:环形光源

分辨率:3微米

安装手动三维位移台

高分辨率24英寸显示器

可选16:1显微镜

12.8毫米-0.8毫米视野

工作距离:89毫米

数值孔径:0.0090-0.15

光源:环形光源

分辨率:2微米

安装手动三维位移台

高分辨率24英寸显示器

探针臂

 

直流/低频探针臂

微型同轴电缆

接头:SMA或BNC

频率:0-100兆赫兹

阻抗:50欧姆

包含接地屏蔽接头

三同轴电缆

接头:三同轴接头

频率:0-100兆赫兹

阻抗:50欧姆

卡尔文探针

电缆:同轴或三同轴

接头:SMA/BNC/三同轴

频率:0-100兆赫兹

针尖材料:

钨针(标准)

镀金钨针(可选)

铍铜镀金(可选)

针尖半径:

0.5微米(其他半径可选)

GSG高频探针臂

0-40GHz

接头:K型接头

电缆:半刚性同轴电缆

针尖:钨针或铍铜针尖

0-50GHz

接头:2.4

电缆:半刚性同轴电缆

针尖:钨针或铍铜针尖

0-67GHz

接头:1.85

电缆:半刚性同轴电缆

针尖:钨针或铍铜针尖

光纤探针臂

紫外/可见 或 可见/红外

接头:SMA905公头

光纤样品端:抛光裸头

尺寸:100微米-400微米

单模或多模

 

典型案例

PS-CC-fullsystem.png
16A113ProbeStation.png

PS-CC

Micro-photoluminescence cryogen-free probe station with custom piezoelectric-positioned XY motion.

PS-CC

Ultra-low vibration probe station with XYZ motion and objective lens

 

 

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